广州粤芯半导体技术股份有限公司

工业领域案例
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案例详情

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       项目地址:

      广东省广州市黄埔区凤凰五路28号

  项目概况:

      5 号建筑(生产厂房 1)二层、三层、四层洁净区,四层 MAU机房,一层洁净与非洁净实验室;4 号建筑(生产调度厂房)一层实验室区域、四层洁净更衣室区域、五层工艺连廊区域;4A 连廊;5A 连廊,涉及光刻区、湿法蚀刻、刻蚀区、离子注入区等多道工艺,控制精度温度±1℃,湿度3%

  效益价值:

  1)建立厂务智控系统管理平台FMCS,实时显示系统动态参数、运行状态和故障情况

  2)打破数据孤岛,整合众多设备数据,实现数据互联互通,针对重要数据的趋势记录,提高设备的运行稳定性  

       3)厂务FMCS集成系统,提升了企业综合管理能力,节约系统运行能耗,具有较好的社会效益和经济效益  

       4)智能型、节约型企业形象更优,进一步提升企业知名度和影响力 


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